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A new method for evaluation of the pitch deviation of a linear scale grating by an optical angle sensor

光学 衍射 旋转编码器 标准差 栅栏 菲索干涉仪 比例（比率） 物理 干涉测量 最小偏差 度量（数据仓库） 激光器 衍射光栅 编码器 声学 计算机科学 数学 天文干涉仪 统计 数据库 量子力学
作者
Lue Quan,Yuki Shimizu,Xin Xiong,Hiraku Matsukuma,Wei Gao
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2020-09-22 卷期号：67: 1-13 被引量：38
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2020.09.008
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