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The effect of citric acid based cleaning solution on particle adhesion and removal during post-Cu CMP cleaning

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作者

Lifei Zhang,Tongqing Wang,Xinchun Lu

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2019-07-21 卷期号：216: 111090-111090 被引量：39

标识

DOI：10.1016/j.mee.2019.111090

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