Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing a Case Study of BPO4 Elimination in BPSG Films

材料科学 退火(玻璃) 薄脆饼 体积流量 晶体生长 沉积(地质) 化学工程 化学气相沉积 冶金 分析化学(期刊) 纳米技术 结晶学 热力学 环境化学 古生物学 化学 物理 沉积物 生物 工程类
作者
Jim Wilson,Tony Stephens
出处
期刊:MRS Proceedings [Springer Nature]
卷期号:284 被引量:2
标识
DOI:10.1557/proc-284-211
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
2秒前
小鱼关注了科研通微信公众号
3秒前
3秒前
HesperLxy完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
4秒前
4秒前
情怀应助Huang采纳,获得10
4秒前
shiwo110完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
6秒前
Yuan88完成签到,获得积分10
7秒前
常常发布了新的文献求助10
8秒前
阿慧发布了新的文献求助10
8秒前
satori发布了新的文献求助10
8秒前
luo发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
爆米花应助天青111采纳,获得10
10秒前
将月发布了新的文献求助10
11秒前
12秒前
曹姗完成签到,获得积分10
13秒前
小羽完成签到,获得积分10
14秒前
14秒前
14秒前
情怀应助lq采纳,获得10
15秒前
17秒前
XIXIXI完成签到 ,获得积分10
18秒前
阅遍SCI完成签到,获得积分10
19秒前
19秒前
lie列发布了新的文献求助10
20秒前
程汐南发布了新的文献求助10
20秒前
22秒前
冬青ouo完成签到,获得积分10
22秒前
fengxiu完成签到 ,获得积分10
23秒前
NexusExplorer应助科科采纳,获得10
24秒前
24秒前
Hilda007发布了新的文献求助10
25秒前
小波发布了新的文献求助20
25秒前
Yangyue完成签到,获得积分10
25秒前
桉韵沁完成签到,获得积分10
25秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Acute Mountain Sickness 2000
Handbook of Milkfat Fractionation Technology and Application, by Kerry E. Kaylegian and Robert C. Lindsay, AOCS Press, 1995 1000
The Social Work Ethics Casebook(2nd,Frederic G. R) 600
A novel angiographic index for predicting the efficacy of drug-coated balloons in small vessels 500
Textbook of Neonatal Resuscitation ® 500
The Affinity Designer Manual - Version 2: A Step-by-Step Beginner's Guide 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5073256
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4293380
关于积分的说明 13378282
捐赠科研通 4114827
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2253172
邀请新用户注册赠送积分活动 1257983
关于科研通互助平台的介绍 1190836