Abstract NbON und VON werden durch thermische Zersetzung der aus den Metalloxidtrichloriden und flüssigem NH 3 erhaltenen Metalloxidamide dargestellt, während TaON‐Einkristalle sich bei Reaktion von TaOCl 3 und NH 4 Cl bei 900‐1000°C in Quarzampullen bilden.