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Increasing robustness of EpiWafer transfer process leading to carrier lifetimes of 1.6 ms using large scale production feasible substrate wafers

稳健性（进化） 薄脆饼 材料科学 基质（水族馆） 晶圆规模集成 过程（计算） 工艺工程 比例（比率） 计算机科学 光电子学 电子工程 工程类 化学 物理 地质学 操作系统 海洋学 基因 量子力学 生物化学
作者
Yves Patrick Botchak Mouafi,Gabriel Micard,Juliane Mürter,Nena Birkle,R. Sorgenfrei,Marion Drießen,Charlotte Weiss,Barbara Terheiden
出处
期刊：Nucleation and Atmospheric Aerosols 日期：2023-01-01 卷期号：2826: 120001-120001 被引量：1
标识
DOI：10.1063/5.0141132
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