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IGZO front-gated TFTs for 3D DRAMs: Process and device advancement

作者
Nouredine Rassoul,Subhali Subhechha,Kaustuv Banerjee,Attilio Belmonte,Gabriele Luca Donadio,Harinarayanan Puliyalil,Murat Pak,Ming Mao,Lieve G. Teugels,Diana Tsvetanova,Shreya Kundu,Nina Bazzazian,Harold F. W. Dekkers,Michiel J. van Setten,Adrian Vaisman Chasin,Jef Geypen,Jeroen Heijlen,Davide Crotti,Luca Di Piazza,Ludovic Goux
出处
期刊：Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials 日期：2021-09-08 被引量：3
标识
DOI：10.7567/ssdm.2021.j-6-03
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