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作者
J. Bauer,
Monika Bauer
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2002-03-01
卷期号：8 (1): 58-62
被引量：29
标识
DOI：10.1007/s00542-001-0144-8
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