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Angular distributions of the particles sputtered with Ar cluster ions

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作者
Noriaki Toyoda,Hiroaki Kitani,N. Hagiwara,Takaaki Aoki,Jiro Matsuo,Isao Yamada
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：1998-07-01 卷期号：54 (1-3): 262-265 被引量：62
标识
DOI：10.1016/s0254-0584(98)00101-1
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