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作者
Wan-Gee Kim,
Shi‐Woo Rhee
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-05-29
卷期号：87 (2): 98-103
被引量：84
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.05.023
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