Polishing single-crystal silicon carbide with porous structure diamond and graphene-TiO2 slurries

泥浆 材料科学 钻石 抛光 磨料 薄脆饼 纳米金刚石 表面粗糙度 碳化硅 化学机械平面化 复合材料 冶金 纳米技术
作者
Ming Yi Tsai,Zuan Tang Hoo
出处
期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
卷期号:105 (1-4): 1519-1530 被引量:26
标识
DOI:10.1007/s00170-019-04223-x

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