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Polishing single-crystal silicon carbide with porous structure diamond and graphene-TiO2 slurries

泥浆材料科学钻石抛光磨料薄脆饼纳米金刚石表面粗糙度碳化硅化学机械平面化复合材料冶金纳米技术

作者

Ming Yi Tsai,Zuan Tang Hoo

出处

期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
日期：2019-09-12 卷期号：105 (1-4): 1519-1530 被引量：26

标识

DOI：10.1007/s00170-019-04223-x

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