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Integrated Micro Sensor Based on Grating Interferometer: A Review

干涉测量 栅栏 衍射光栅 集成光学 光学 计算机科学 材料科学 电子工程 物理 工程类
作者
Mengying Zhang,Chao Lü,Wei Liu,X F Liu,Quanliang Zhao
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-12-05 卷期号：25 (2): 2073-2089 被引量：3
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3507084
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