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Precise control of piezoelectric deformable mirror based on charge-driving method
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作者
Yan Li,
Qizhi Yu,
Jianqiang Ma,
Wenchao Ma,
Haibo Yang
出处
期刊：
Optical Engineering
[SPIE]
日期：2025-09-17
卷期号：64 (09)
标识
DOI：10.1117/1.oe.64.9.095105
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