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Accuracy analysis in multiple angle of incidence ellipsometry
作者
Meint K. Smit,
J.W. Verhoof
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：1990-08-01
卷期号：189 (2): 193-203
被引量：12
链接
tue.nl
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doi.org
标识
DOI：10.1016/0040-6090(90)90448-m
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