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Hydrogen-ion implantation in GaAs

作者

G. Gawlik,R. Ratajczak,A. Turos,J. Jagielski,Stephen W. Bedell,W.L Lanford

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2001-08-01 卷期号：63 (4): 697-700 被引量：13

标识

DOI：10.1016/s0042-207x(01)00260-3

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