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Silicon doping and N2 annealing effects on Zn3N2 thin film transistors

薄膜晶体管 材料科学 光电子学 兴奋剂 退火（玻璃） 阈值电压 活动层 钝化 晶体管 场效应 溅射沉积 溅射 氧化物薄膜晶体管 薄膜 图层（电子） 电压 纳米技术 电气工程 复合材料 工程类
作者
Kaiwen Li,Dong Lin,Jinhua Ren,Qun Zhang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2022-01-01 卷期号：197: 110864-110864 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2021.110864
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