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Analysis of residual thermal stress for AlN crystal growth by PVT

材料科学 残余应力 热膨胀 压力（语言学） 热的 Crystal（编程语言） 复合材料 抗压强度 半径 热力学 计算机安全 计算机科学 语言学 物理 哲学 程序设计语言
作者
Z.Y. Qin,Wei Li,Zhigang Sun,Jianhua Ji,Honglei Wu,Lei Jin
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-05-25 卷期号：214: 112237-112237 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112237
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