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Modulating oxygen vacancies via sputtered WOx top electrodes for enhanced ferroelectricity and improved fatigue stability in HZO thin films

材料科学矫顽力薄膜铁电性氧气电极四方晶系氧化物化学工程钨极化（电化学）光电子学电场溅射正交晶系分析化学（期刊）铋铁氧体克拉克电极退火（玻璃）相（物质）纳米技术

作者

Wenqi Sun,Fuling Wu,Chao Ye,Shibing Xiao,Huiting Sui,Piyu Gong,Xiang Liu,Xiang Liu,Jia He,Jianing Zhu,Zijin Meng,Qingqing Zhang,Xiaofang Liu,Xiaofang Liu,Huajun Sun

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-07-17 卷期号：51 (25): 45080-45090

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2025.07.227

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