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Phosphorus-doped nanocrystalline silicon-oxycarbide thin films

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作者

Sukalyan Shyam,Debajyoti Das

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2021-04-24 卷期号：876: 160094-160094 被引量：20

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2021.160094

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