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A high-precision method for manufacturing tunable solid microneedles using dicing saw and xenon difluoride-induced dry etching

晶片切割 二氟化氙 材料科学 干法蚀刻 蚀刻（微加工） 氙气 二氟 光电子学 复合材料 纳米技术 薄脆饼 化学 有机化学 无机化学 图层（电子）
作者
Ismail Eş,Abdullah Kafadenk,Fatih İnci
出处
期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier]
日期：2023-12-01 卷期号：: 118268-118268
标识
DOI：10.1016/j.jmatprotec.2023.118268
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