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Aerosol-assisted chemical vapor deposition of 2H-WS2 from single-source tungsten dithiolene precursors
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作者
Ian M. Germaine,
Nathaniel E. Richey,
Mary B. Huttel,
Lisa McElwee‐White
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
卷期号：12 (10): 3526-3534
被引量：1
链接
nih.gov
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d3tc03755j
摘要
Tungsten dithiolene complexes were used as single-source precursors for the aerosol-assisted chemical vapor deposition of WS 2 thin films.
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