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Direct thermal atomic layer deposition of high-κ dielectrics on monolayer MoS2: nucleation and growth
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作者
Brendan F. M. Healy,
Sophie L. Pain,
Nicholas E. Grant,
John D. Murphy
出处
期刊：
Nanoscale
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：17 (25): 15436-15447
被引量：3
链接
rsc.org
nih.gov
ac.uk
ac.uk
doi.org
标识
DOI：10.1039/d5nr01144b
摘要
Investigation of the nucleation and growth of Al 2 O 3 and HfO 2 films grown directly on chemical vapour-synthesised monolayer MoS 2 via atomic layer deposition.
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