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Study on the influence of 36-inch hot field heater structure on the oxygen content of Czochralski monocrystalline silicon

单晶硅硅材料科学氧气直拉法工程物理光电子学化学工程类有机化学

作者

Duan Xiaochen,Huang Xu-guang,Yulong Wang,C. C. Chen,Han Qinghui,马皓天 Ma Haotian,Bai Guijie

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2025-03-14 卷期号：659: 128144-128144 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2025.128144

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