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OPC and modeling solution towards 0.55NA EUV stitching
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作者
Dongbo Xu,
Werner Gillijns,
Stewart Wu,
Abdulrazaq Adams,
Vincent J. Wiaux,
Vicky Philipsen,
Xima Zhang,
Edita Tejnil,
Germain Fenger
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DOI:10.1117/12.3010519
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