OPC and modeling solution towards 0.55NA EUV stitching

图像拼接 极紫外光刻 计算机科学 材料科学 光电子学 人工智能
作者
Dongbo Xu,Werner Gillijns,Stewart Wu,Abdulrazaq Adams,Vincent J. Wiaux,Vicky Philipsen,Xima Zhang,Edita Tejnil,Germain Fenger
标识
DOI:10.1117/12.3010519

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