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作者
Buket Akın,
Sabreen A. Hameed,
Seçkin Altındal Yerişkin,
Murat Ulusoy,
Haziret Durmuş
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2024-08-08
卷期号：184: 108781-108781
被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108781
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