高功率脉冲磁控溅射
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作者
Е. И. Замулаева,A. E. Kudryashov,Ph. V. Kiryukhantsev–Korneev,E. A. Bashkirov,S. K. Mukanov,Yu. С. Pogozhev,E. A. Levashov
标识
DOI:10.3103/s1068375524700182
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