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Oxygen transport from a silica crucible in Czochralski silicon growth

作者
Shinji Togawa,Koji Izunome,Soroku Kawanishi,Sang-Ik Chung,Kazutaka Terashima,Shigeyuki Kimura
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：1996-08-01 卷期号：165 (4): 362-371 被引量：41
标识
DOI：10.1016/0022-0248(96)00211-4
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