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Highresolution Defect Inspection for Transparent Indiumtinoxide Conductive Film

氧化铟锡 材料科学 透明导电膜 导电体 光电子学 纳米技术 薄膜 复合材料 冶金
作者
陈方涵 CHEN Fanghan,赵光宇 ZHAO Guangyu,蒋仕龙 JIANG Shilong,彭文达 PENG Wenda
出处
期刊:Acta Photonica Sinica [Chinese Optical Society]
卷期号:45 (2): 212004-212004 被引量:1
标识
DOI:10.3788/gzxb20164502.0212004
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