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Effect of atomic layer etching on the surface damage removal of GaN-based light emitting diodes

蚀刻（微加工）光电子学图层（电子）材料科学二极管发光二极管纳米技术

作者

Chan Ho Kim,Jong Woo Hong,Woong Sun Lim,Ja Yeon Kim,Kyung Lim Kim,Jong S. Park,Yongsup Park,Eun‐Seong Kim,Hyeong Joon Eoh,Jun Won Jeong,Sung Hyun Kim,Young Woo Jeon,G.Y. Yeom,Dong Woo Kim

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-08-30 卷期号：714: 164429-164429 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164429

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