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Inverted pyramid structures fabricated on monocrystalline silicon surface with a NaOH solution

单晶硅 材料科学 蚀刻(微加工) 薄脆饼 晶体硅 乙二醇 水溶液 太阳能电池 纳米技术 化学工程 冶金 光电子学 化学 有机化学 图层(电子) 工程类
作者
Chenliang Huo,Haoxin Fu,Kui‐Qing Peng
出处
期刊:Heliyon [Elsevier BV]
卷期号:10 (1): e23871-e23871 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.heliyon.2023.e23871
摘要

Low-cost aqueous alkaline etching has been widely adopted for monocrystalline silicon surface texturing in current industrial silicon solar cells. However, conventional alkaline etching can only prepare upright pyramid structures on mono-crystalline silicon surfaces. This study demonstrates for the first time the use of ethylene glycol butyl ether (EGBE) to regulate aqueous anisotropic alkaline etching and prepare inverted pyramid structures on monocrystalline silicon surfaces. Acidic metal-catalyzed etching solutions are not the best choice for monocrystalline silicon due to their inherent disadvantages, such as noble metal pollution and relatively high costs. The one-step method to produce the inverted pyramid structures by using alkaline etch with EGBE additive is simple and inexpensive, does not generate noble metal pollution, and especially compatible with current industrial silicon solar cell production lines. With the use of a sodium hydroxide (NaOH) solution containing a low-cost additive, inverted pyramid structures can be prepared on mono-crystalline silicon surface in a short time. This method is suitable for various types of silicon wafers and has great potential for industrial solar cell applications.
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