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Optical, chemical and coverage properties of magnesium fluoride formed by atomic layer deposition

原子层沉积 镁 氟化镁 材料科学 量子光学 图层（电子） 沉积（地质） 氟化物 无机化学 纳米技术 光学 冶金 化学 物理 地质学 古生物学 沉积物
作者
Yuma Sugai,Hironori Sugata,Takuya Sugawara,Muhammad Safdar,Jani Hämäläinen,Nina Lamminmäki,Juhana Kostamo
出处
期刊：Optical Review [Springer Science+Business Media]
日期：2024-03-02 卷期号：31 (2): 242-246 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s10043-024-00867-7
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