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In Situ O$_{\text{2}}$ Plasma-Treated HfO$_{\text{2}}$–ZrO$_{\text{2}}$ Superlattice HZO FeRAMs Exhibiting Enhanced Remnant Polarization and Improved Endurance Performance

超晶格 原位 等离子体 极化（电化学） 光电子学 材料科学 物理 结晶学 分析化学（期刊） 化学 物理化学 核物理学 色谱法 气象学
作者
Dong‐Ru Hsieh,Zi-Yang Hong,Wei-Ju Yeh,Jia-Chian Ni,Huai-En Luo,Yan-Kui Liang,Chun-Hsiung Lin,Tien‐Sheng Chao
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-7 被引量：1
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3509401
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