Croissance épitaxique (aspects topologiques et structuraux)

Cet article de revue concerne les acquisitions des vingt dernières années sur les mécanismes de la croissance épitaxique. Des considérations thermodynamiques permettent de faire un certain nombre de prévisions générales sur le mode de croissance. Des méthodes expérimentales sont passées en revue dans le but de vérifier les prévisions dans les tout premiers stades de l'épitaxie. Des exemples sont choisis afin d'illustrer les méthodes et les acquisitions.