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Tailoring bolometric properties of a TiOx/Ti/TiOx tri-layer film for integrated optical gas sensors
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作者
Joonsup Shim,
Jinha Lim,
Dae‐Myeong Geum,
Bong Ho Kim,
Seung‐Yeop Ahn,
Sanghyeon Kim
出处
期刊：
Optics Express
[Optica Publishing Group]
日期：2021-05-19
卷期号：29 (12): 18037-18037
被引量：21
链接
doi.org
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1364/oe.427147
摘要
tri-layer film provides fairly useful insight on how to improve LoD in the integrated optical gas sensor with the bolometer as an on-chip detector.
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