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Preparation and characterization of wide area, high quality diamond film using magnetoactive plasma chemical vapour deposition

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作者
Akio Hiraki,Hiroshi Kawarada,Jin Wei,Jun-ichi Suzuki
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：1990-12-01 卷期号：43-44: 10-21 被引量：28
标识
DOI：10.1016/0257-8972(90)90055-h
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