Electroless chemical etching of silicon in aqueous NH4F/AgNO3/HNO3 solution

水溶液 蚀刻(微加工) 各向同性腐蚀 材料科学 化学工程 无机化学 纳米技术 化学 冶金 物理化学 工程类 图层(电子)
作者
Nacéra Megouda,Toufik Hadjersi,Sabine Szunerits,Rabah Boukherroub
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:284: 894-899 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2013.08.033
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