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Wear mechanism of diamond wire in slicing of silicon wafers

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作者
Zhecan Cao,Peizhi Wang,Peiqi Ge,Wenbo Bi,Mengran Ge,Yandong Wang
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:162: 113284-113284 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2025.113284
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