Semi-automatic wafer map pattern classification with convolutional neural networks

卷积神经网络 薄脆饼 计算机科学 人工智能 过程(计算) 人工神经网络 模式识别(心理学) 半导体器件制造 推论 深度学习 机器学习 工程类 电气工程 操作系统
作者
Suhee Yoon,Seokho Kang
出处
期刊:Computers & Industrial Engineering [Elsevier BV]
卷期号:166: 107977-107977 被引量:30
标识
DOI:10.1016/j.cie.2022.107977
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