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Etching of tungsten via a combination of thermal oxide formation and wet-chemical oxide dissolution

溶解氧化物氧化钨钨蚀刻（微加工）材料科学各向同性腐蚀热的化学机械平面化化学工程纳米技术冶金图层（电子）物理气象学工程类

作者

Antoine Pacco,Teppei Nakano,Jana Loyo Prado,Ju-Geng Lai,Hikaru Kawarazaki,Efrain Altamirano Sánchez

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2024-12-18 卷期号：297: 112304-112304

标识

DOI：10.1016/j.mee.2024.112304

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