发布文献求助

Etching of tungsten via a combination of thermal oxide formation and wet-chemical oxide dissolution

溶解 氧化物 氧化钨 钨 蚀刻（微加工） 材料科学 各向同性腐蚀 热的 化学机械平面化 化学工程 纳米技术 冶金 图层（电子） 物理 工程类 气象学
作者
Antoine Pacco,Teppei Nakano,Jana Loyo Prado,Ju-Geng Lai,Hikaru Kawarazaki,Efrain Altamirano Sánchez
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2024-12-18 卷期号：297: 112304-112304
标识
DOI：10.1016/j.mee.2024.112304
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Akim的应助被SanXing三醒采纳，获得10
刚刚
科研叶发布了新的文献求助10
刚刚
长情的向真完成签到 ，获得积分10
刚刚
刚刚
英俊的誉发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
1秒前
兴奋尔白完成签到 ，获得积分10
1秒前
1秒前
enen完成签到，获得积分10
1秒前
充电宝的应助被优美的冰露采纳，获得10
1秒前
1秒前
步步发布了新的文献求助10
2秒前
安静的幻竹完成签到，获得积分10
2秒前
fsfs完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
哎呀发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
科研蝗虫完成签到 ，获得积分10
3秒前
3秒前
企福发布了新的文献求助10
3秒前
奇奇怪怪发布了新的文献求助10
3秒前
Vicky完成签到，获得积分10
3秒前
叶95发布了新的文献求助10
3秒前
淡然忆文完成签到，获得积分10
4秒前
无名氏马的应助被香蕉曼寒采纳，获得10
4秒前
追寻翠柏发布了新的文献求助10
4秒前
追魂墨迹发布了新的文献求助10
5秒前
亦安完成签到，获得积分10
5秒前
2024020847完成签到，获得积分10
5秒前
传奇3的应助被无糖零脂采纳，获得10
5秒前
5秒前
5秒前
5秒前
6秒前
汉堡包的应助被EED采纳，获得10
6秒前
zijie完成签到 ，获得积分10
6秒前
zzzy完成签到 ，获得积分10
6秒前
6秒前
6秒前
高分求助中
（应助此贴封号）通过应助OA文献获取积分 10000
Organizational Behavior 510
A Silent Apostrophe:The Fayum Portraits 350
Sing with Understanding: Introduction to Theology in Christian Congregational Song, 3rd ed 330
Fractal analysis evaluation of regenerated bone in grafted and graftless maxillary sinus elevation procedures 300
Protection enhancement strategies of potential outbreaks during Hajj 300
Management of a religious mass gathering in North India: Parkash Utsav 550 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 计算机科学 工程类 纳米技术 有机化学 化学工程 内科学 物理 生物化学 复合材料 催化作用 细胞生物学 人工智能 心理学 无机化学 基因 遗传学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7841895
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9363324
关于积分的说明 20631770
捐赠科研通 7436832
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3340050
关于科研通互助平台的介绍 2484568
邀请新用户注册赠送积分活动 2362113
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通