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Manufacturing process and mechanism analysis of Co ultrasonic electrochemical mechanical polishing

抛光磨料电化学超声波传感器泥浆苯并三唑化学机械平面化材料科学过程（计算）阳极氧化钴复合材料钴冶金氧化物电压表面粗糙度空化电极

作者

Wenhu Xu,Hongyu Chen,Min Zhong,Xiaobing Li,Meirong Yi,Jianfeng Chen

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-09-22 卷期号：716: 164678-164678 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164678

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