Wet chemical etching of silicon for conically textured surfaces

材料科学 蚀刻(微加工) 各向同性腐蚀 固体力学 复合材料 矿物学 冶金 化学 图层(电子)
作者
M.A. Zrir,M. Kakhia,N. AlKafri
出处
期刊:Journal of Materials Science [Springer Nature]
卷期号:59 (5): 2048-2054 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s10853-023-09192-x
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