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1601 Mechanical Issues of Silicon Wafers for Semiconductor Devices
作者
Tetsuo Fukuda,
Atsunobu Une,
Akira Fukuda,
Yasuhide NAKAI
出处
期刊：Keisan Rikigaku Koenkai koen ronbunshu
[The Japan Society of Mechanical Engineers]
日期：2009-01-01
卷期号：2009.22: 534-535
链接
go.jp
doi.org
标识
DOI：10.1299/jsmecmd.2009.22.534
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