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Analysis of Dislocations in PVT-Grown 6H-SiC through Grazing-Incidence X-Ray Topographic Images and Ray-Tracing Simulation

光线追踪（物理） X射线 材料科学 光学 计算机图形学（图像） 物理 计算机科学
作者
Qianyu Cheng,Tuerxun Ailihumaer,Hongyu Peng,Yafei Liu,Balaji Raghothamachar,Michael Dudley
出处
期刊：ECS transactions [The Electrochemical Society]
日期：2020-09-23
标识
DOI：10.1149/09806.0133ecst
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