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Influence of oxygen on sputtering of aluminum-gallium oxide films for deep-ultraviolet detector applications

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作者
Po‐Wei Chen,Shiau‐Yuan Huang,Chao‐Chun Wang,Shuo‐Huang Yuan,Dong‐Sing Wuu
出处
期刊:Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
卷期号:791: 1213-1219 被引量:26
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2019.03.339
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