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作者
Weiyi Lin,
Hongyao Shen,
Jianzhong Fu,
Senyang Wu
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2019-06-05
卷期号:60: 76-84
被引量:88
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2019.06.004
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