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作者
Martin Knaut,
Marcel Junige,
Volker Neumann,
H. Wojcik,
Thomas Henke,
Christoph Hoßbach,
André Hiess,
Matthias Albert,
Johann W. Bartha
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2013-01-28
卷期号：107: 80-83
被引量：46
标识
DOI：10.1016/j.mee.2013.01.031
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