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Characterization of the Chemical Effects of Ceria Slurries for Chemical Mechanical Polishing
材料科学
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作者
Jeremiah T. Abiade,
Suresh B. Yeruva,
Brij Moudgil,
D. Kumar,
R. K. Singh
出处
期刊：MRS Proceedings
[Springer Nature]
日期：2005-01-01
卷期号：867
被引量：8
标识
DOI：10.1557/proc-867-w8.3
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