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Toward next-generation EUV pellicles: evaluating beryllium ultra-thin membranes
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作者
Takashi Tanimura,
Toshikatsu Kashiwaya,
Shoji Tange,
Yasuaki Tanaka,
Hiroki Iida,
Tokio Kanbe,
Koei Shimosato,
Kenta Muneoka,
Koichi Masuda,
Takashi Ryu
标识
DOI：10.1117/12.3090008
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