Effects of different crucible shapes on heat and oxygen transport during continuous Czochralski silicon crystal growth

坩埚(大地测量学) 直拉法 晶体生长 微下拉 氧气 材料科学 结晶学 Crystal(编程语言) 矿物学 化学 冶金 计算化学 有机化学 计算机科学 程序设计语言
作者
Thi-Hoai-Thu Nguyen,Jyh-Chen Chen,Chun-Chung Chen
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:626: 127474-127474 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2023.127474
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