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Producing ultrathin monocrystalline native oxide dielectrics for 2D transistors

单晶硅 材料科学 电介质 光电子学 氧化物 晶体管 硅 工程物理 纳米技术 电气工程 物理 工程类 冶金 电压
出处
期刊：Nature electronics [Nature Portfolio]
日期：2022-09-23 卷期号：5 (10): 633-634
标识
DOI：10.1038/s41928-022-00835-6
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