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Microstructuring of Silica and Polymethylmethacrylate Glasses by Femtosecond Irradiation for MEMS Applications

作者

Saulius Juodkazis,Kazuhiko Yamasaki,Andrius Marcinkevičius,Vygantas Mizeikis,Shigeki Matsuo,Hiroaki Misawa,Thomas K. Lippert

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2001-01-01 卷期号：687 被引量：11

链接

lib4ri.ch handle.netdoi.org

标识

DOI：10.1557/proc-687-b5.25

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